18新利体育入口:半导体 微波源微波器示图谋微波源厂家

来源:新利luck全站 作者:新利18体育投注2025-04-15 03:22:51
  •   金融界 2025 年 1 月 14 日音书,国度常识产权局新闻显示,无锡嘉森光学科技有限公司申请一项名为“一种微波等离子辅帮的溅射光学成膜装配”的专利,公然号 CN 119287328 A,申请日

  金融界 2025 年 1 月 14 日音书,国度常识产权局新闻显示,无锡嘉森光学科技有限公司申请一项名为“一种微波等离子辅帮的溅射光学成膜装配”的专利,公然号 CN 119287328 A,申请日期为 2024 年 12 月。

  专利摘要显示,本创造涉及溅射成膜技能规模,全部公然了一种微波等离子辅帮的溅射光学成膜装配,搜罗真空箱、磁控溅射箱真空排气区和氧化响应区,所述磁控溅射箱装置于真空箱的侧壁且呈相通筑立,两个所述磁控溅射箱合于真空箱呈对称漫衍,所述真空排气区和氧化响应区均位于磁控溅射箱的侧壁,所述真空箱内筑立有挽救组件。本创造维持了磁控溅射靶材与基板之间的间距,降低了溅射成膜流程的安宁性和成膜结果,拥有了对靶材破费形态的监测把持效用,大幅简化了人的瞻仰操作流程,低浸了溅射靶材镀穿后的危害,降低了平安性,通过固态微波源的筑立,将氧化区修建为氧等粒子活化区,完成了更好的氧化结果。

  天眼查材料显示,无锡嘉森光学科技有限公司,造造于2021年,位于无锡市,是一家以从事仪器仪表筑造业为主的企业。企业注册本钱500万黎民币,实缴本钱167.63万黎民币。通过天眼查大数据说明,无锡嘉森光学科技有限公司共对表投资了1家企业,常识产权方面有牌号新闻2条,专利新闻7条,其它企业还具有行政许可2个。

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