微波等离子体化学气相重积（CVD）装备正在发展金刚石的经过中，基于微波发生等离子体这一闭节机造。微波爆发器将电能转化为微波能，当微波能被导入反响腔室后，正在特定的气体处境（日常包括氢气和含碳气体，如甲烷）中发生等离子体。这种等离子体拥有极高的活性，它或许领会含碳气体，使得碳原子正在基底上重积并结晶，慢慢发展成金刚石组织。就像一位奇妙的兴办师，等离子体将轻细的碳原子细心修建成璀璨的金刚石大厦。
正在这个经过中，微波频率起着紧急的感化。平常采用微波频率（如2.45GHz）的固态微波源装备或许有用地激励气体分子，发生足够能量的等离子体。同时，反响腔室内的压力、气体流量等参数也必要无误左右，以确保等离子体的不变性和碳原子重积的适应条款。
最先是发展温度较低，它能够正在相对温和的温度条款下发展金刚石，这对付少许不行担当高温的基底质料来说长短常闭节的。比如，正在少许卓殊的电子元件轮廓发展金刚石涂层时，较低的发展温度不会对元件功能酿成损害。
其次，微波等离子体CVD装备或许发展出高质料的金刚石。因为微波发生的等离子体拥有高度的平均性，使得碳原子正在基底上的重积也加倍平均，从而获得组织无缺、晶体缺陷少的金刚石。咨询声明，用这种装备发展出的金刚石正在硬度、透后度等目标上都优于少许古代形式发展的金刚石。
