金融界2025年1月14日音问，国度常识产权局新闻显示，深圳市矩阵多元科技有限公司申请一项名为“用于PVD矩形平面靶的扫描磁控管安装与薄膜浸积筑造”的专利，公然号 CN 119287329 A ，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本创造涉及真空浸积工夫范畴，公然了一种用于PVD矩形平面靶的扫描磁控管安装与薄膜浸积筑造，磁控安装囊括：磁控管；驱动安装，用于驱动磁控管相对矩形平面靶沿第一宗旨与第二宗旨搬动，以使磁控管达到对应矩形平面靶各角部的极限场所，磁控管的搬动行程囊括顺序举办的第一行程与第二行程，第一行程中磁控管正在第一极限场所与第二极限场所之间搬动，第二行程中磁控管正在第一极限场所与第三极限场所之间，或者正在第二极限场所与第三极限场所之间搬动，第一极限场所、第二极限场所与第三极限场所均为区其余极限场所。本履行例中磁控管正在完毕第二行程后达到的极限场所区别于第一行程中磁控管开赴或者到达的极限场所，是以也许升高刻蚀平均性。
天眼查原料显示，深圳市矩阵多元科技有限公司，建设于2016年，位于深圳市，是一家以从事专业工夫办事业为主的企业。企业注册资金1354.502万国民币，实缴资金1207.7293万国民币。通过天眼查大数据剖判，深圳市矩阵多元科技有限公司共对表投资了1家企业，插手招投标项目77次，常识产权方面有牌号新闻1条，专利新闻117条，别的企业还具有行政许可13个。
